消費(fèi)者應(yīng)用這種氦質(zhì)譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產(chǎn)品擁有良好的應(yīng)用價(jià)值,在我國(guó)更多的產(chǎn)品漏率檢查之中原先更好的技術(shù)支持,因此氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢(shì)更保證了我國(guó)產(chǎn)品漏問(wèn)題檢查的質(zhì)量。檢漏儀全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級(jí),儀器響應(yīng)快,
質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng),快速有效地清除超標(biāo)的氦本底,保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度,保證了工件檢測(cè)的精度;
因此,電力行業(yè)對(duì)高壓電氣設(shè)備及其配套產(chǎn)品在密封性能上要求極高,氦質(zhì)譜正壓檢漏法。給被檢件內(nèi)腔充入與設(shè)備工作壓力相同的氦氣,置入封閉容器中,將封閉容器與氫質(zhì)譜檢漏儀連通,待氦質(zhì)譜檢漏儀指示可檢時(shí),被檢件內(nèi)的氦分子在壓差的作用下通過(guò)漏孔進(jìn)入設(shè)備內(nèi)的質(zhì)譜室,氦質(zhì)譜檢漏儀經(jīng)過(guò)分析后自動(dòng)指示出被檢件的漏率。氦質(zhì)譜負(fù)壓檢漏法,將被檢件裝在氦質(zhì)譜檢漏儀上,對(duì)被檢件抽真空,當(dāng)達(dá)到檢漏儀的開(kāi)檢壓力后,對(duì)被檢件漏點(diǎn)處噴氦氣,氦分子在壓差的作用下通過(guò)漏孔進(jìn)入設(shè)備內(nèi)的質(zhì)譜室,氦質(zhì)譜檢漏儀經(jīng)過(guò)分析后自動(dòng)指示出被檢件的漏率